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武汉气相沉积炉在工作时会产生含有有害物质的尾气,这些有害物质会对环境造成污染。因此,现代气相沉积炉通常会配备尾气过滤器来减少尾气中的有害物质。尾气过滤器通常包括壳体和滤芯,壳体内设有容置腔,滤芯设于容置腔内。壳体的底部设有进气管,进气管连通容置腔与尾气排出管;壳体的顶部设有排气管;排气管连通容置腔。
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