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气相沉积炉是很多人都听说过的一个设备,但是可能大家并不了解气相沉积炉究竟是什么,那么下面就和咸阳陶瓷研究院一起来看一下吧。
气相沉积炉的作用是在高温下气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。
气相沉积炉这种技术刚开始发展时是作为涂层的手段而开发的,但是目前随着发展已经不只是应用于耐热物质的涂层了,现在应该已经应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等,是一个还比较广泛的领域。
气相沉积炉的特征在于:高熔点物质能够在低温下合成;析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;不仅可以在基片上进行涂层,而且可以在粉体表面涂层等。在低温下可以合成高熔点物质。
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图为气氛回转炉
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